钼靶材，钼为银白色金属，钼原子半径为0.14nm，原子体积为235.5px/mol，配位数为8，晶体为Az型体心立方晶系，空间群为Oh（lm3m），至今还没发现它有异构转变．常温下钼的晶格参数在0.31467~0.31475nm之间，随杂质含量而变化。钼熔点很高，在自然界单质中名列第六，被称作难熔金属，见表2。钼的密度为10.23g/cm，约为钨的一半（钨密度19.36g/cm）。钼的热膨胀系数很低，20~100℃时为4.9×10/℃；钼的热传导率较高，为142.35w/(m·k) 。钼电阻率较低：0℃时为5.17×-10Ω·cm；800℃时为24.6×-10Ω·cm；2400℃时为72×-10Ω·cm。钼属顺磁体，99.99%纯度的钼在25℃时比磁化系数为0.93×10cm/g。钼的比热在25℃时为242. 8J/（kg·k）。钼的硬度较大，摩氏硬度为5~5.5。钼在沸点的蒸发热为594kJ/mol；熔化热为27.6 ±2.9kJ/mol；在25℃时的升华热为659kJ/mol。钼是发热体、隔热屏，它具有导电导热性能优越、热膨胀系数小，抗腐蚀性强等优点，主要用于电真空器件、高温炉内发热体、隔热板、料舟等，用于制造钼舟、电力半导体用钼元片和制作电真空光源零件等。下图是钼溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片，平均粒径<100um。
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我们生产高纯度的溅射靶材，它最重要的好处是在物理气相沉积的过程中，能获得具有优异的导电率和颗粒最小化的薄膜。以下表格是3N5高纯钼溅射靶的成分分析证明书。采用的分析方法：1，使用ICP-OES对金属元素进行分析；2，使用LECO进行气体元素分析。
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