成都超迈光电科技有限公司

[新品] 大口径干法刻蚀装备(surpass)

Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，最大刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。

     成都超迈光电科技有限公司，为国家高新技术企业、国家标准拟定单位、创新型中小企业、省专精特新企业、新经济双百企业，已通过GB/T与GJB双体系认证。

       成都超迈光电科技有限公司致力于真空镀膜、等离子刻蚀、人工晶体材料和特殊装备的技术提升，具有全系列涂层服务装备和检测手段，已申请国家专利60余项，授权专利与软件著作权50余项，拟定国家标准2项，行业标准1项，为中国物理学会固体缺陷专家委员单位，全国电热装备标准化委员会单位，已形成工业级、科研级和特殊级三大产品系列，公司在南充高新区(顺庆高新区)建有超迈智能产业园，一期已完成3.5万平方米厂房和配套办公生活设施建设，具备强大的研发和制造能力。